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主旨
無塵室潔淨級別不同的廠房之問應保持程度
日期
2016-09-12 13:46:08

無塵室的窗戶、天花板及進人室內的管線、風口、燈罩與牆壁或天花板的連接部位均應氣密。無塵室潔淨級別不同的廠房之問應保持4.gPa(相當于0.smln汞柱或近似于0.0368I’nrn汞柱)的壓差並應有指示壓差的裝置,無塵室潔淨級別要求高的廠房對相鄰的潔淨級別低的廠房一般呈相對正壓。